龍門單驅
產品用途:
滿足高速高精度產品的定制需求,適用于激光加工,CCD成像,晶圓檢測等。
產品特性:
1.X,Y工作臺,可布置Z軸于平臺大理石橫梁;
2.龍門結構,橫梁可隨Y軸運動;
3.XY微米級重復定位精度;
4.最大速度1000mm/s,最大加速度1.0g
5.單軸直線度可達±1.5um,運動平面度可達±2.5um
liu_jizhu@163.com
0512-66180065
產品用途:
滿足高速高精度產品的定制需求,適用于激光加工,CCD成像,晶圓檢測等。
產品特性:
1.X,Y工作臺,可布置Z軸于平臺大理石橫梁;
2.龍門結構,橫梁可隨Y軸運動;
3.XY微米級重復定位精度;
4.最大速度1000mm/s,最大加速度1.0g
5.單軸直線度可達±1.5um,運動平面度可達±2.5um
技術參數:
產品類型 | ZWLD-500-300 | |
X | Y | |
行程 | 500mm | 300mm |
分辨率 | 0.1um | |
定位精度(補償后) | ±3um | |
重復定位精度 | ±2um | |
直線度 | 3um | |
平面度 | ±2.5um | |
垂直度 | ±5um | |
最大速度 | 1000mm/s | 1000mm/s |
最大加速度 | 1g | |
最大負載 | 10kg | |
A | 1300 | |
B | 1340 | |
C | 631.3 |
外形尺寸:
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