龍門雙驅(qū)
產(chǎn)品用途：
滿足高速高精度產(chǎn)品的定制需求，適用于激光加工，CCD成像，晶圓檢測等。
產(chǎn)品特性：
1.X，Y，Z工作臺，Z軸布置于平臺大理石橫梁，
2.龍門結(jié)構(gòu)，橫梁可隨Y軸運動，
3.XY微米級重復(fù)定位精度，
4.最大速度1000mm/s，最大加速度1.0g
5.單軸直線度可達±1.5um，運動平面度可達±2.5um
龍門雙驅(qū)
技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品類型 | ZWLS-500-300 | |
X | Y | |
行程 | 500mm | 300mm |
分辨率 | 0.1um | |
定位精度（補償后） | ±2um | |
重復(fù)定位精度 | ±1um | |
直線度 | 3um | |
平面度 | ±2.5um | |
垂直度 | ±5um | |
最大速度 | 1000mm/s | 1000mm/s |
最大加速度 | 1.0g | |
最大負(fù)載 | 10kg | |
A | 1544 | |
B | 1380 | |
C | 603 | |
外形尺寸：
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